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阴极发光是(shì)一种(zhǒng)光谱分析方法,通过电子(zǐ)束轰击材料产生发光后(hòu),用来(lái)在(zài)局部范围内鉴别材料中的(de)点缺陷和杂质缺陷,应用于微电子,半导体材料,绝缘体(tǐ),地(dì)质学和矿物学等领域详细介绍(shào) >